产品参数
型号 | 混气柜 |
规格 | 采用高精度MFC自动控制,配置Buffer Tank,自动混配 |
特气柜尺寸 | 双瓶:W800宽*D633深*H2172高 |
控制柜电源 | 控制电源:24VDC,50W |
VENT排空管 | 1/4” MVCR接口 |
气动气源 | CDA驱动,Φ6快插接口 |
柜体抽风 | OD 150MM,硅烷810m³/hr;其它204m³/hr |
标准配备 | 自动混配,防爆防离柜体,防爆自锁门,防爆玻璃观察窗,泄露报警,远程切断,负压报警等 |
操作界面 | 10“彩色触摸屏 |
选配
UV/IR 紫外红外火焰探测器 | Ethernet Communication Module 以太网通讯模块 | Excess Flow Switch 过流保护开关 |